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影响碳化硅板质量的的因素

作者:荥阳光亚更新时间: 2017-07-25阅读: 512 次

碳化硅板使用寿命的影响因素首先要取决于确定炉内容积,再根据需要达到的炉膛温度1300度确定需要的总功率,根据炉膛尺寸,炉用功率和炉膛温度确定硅碳棒的规格尺寸,由此算出每一只硅碳棒发热体部分的表面积。

在1300度的炉温下,硅碳棒的使用负荷密度为14*2/3(W/cm2),算出每一只棒的功率数,再由总功率和每一只棒的分功率算出所需的硅碳棒的支数量。最后根据外接电路和调压设备确定每一只棒的电阻值。硅碳棒温度越高寿命越短。

碳化硅板

碳化硅板

特别是在炉膛温度超过1600℃以后,氧化速度加快,硅碳棒的使用寿命变短,所以请尽量不要让硅碳棒表面温度过高,即有必要缩小炉膛温度与硅碳棒温度之差。表面负荷密度指棒的发热部单位表面积所允许承载的额定功率。

表面负荷密度=额定功率(W)/ 发热部表面积(cm2)。负荷密度大则发热体表面温度与炉膛温度之差也大。负荷密度大则棒体表面温度高,电阻增长快, SIC棒的寿命短。因此,碳化硅板表面温度负荷密度、炉内气氛、温度与SIC棒老化速度成正比,与SIC棒的寿命成反比。

以上就是影响碳化硅制品生产过程质量的因素的全部内容,粘土成分黏土的成分不同,所制成的粘土质碳化硅制品,其体积密度和抗压强度指标都会有差异。 成型压力在同样条件下,不同成型压力对粘土质碳化硅制品质量会有影响。

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